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C$$_{60}$$イオン照射によるPTFEからの2次イオン放出

Secondary ion emission from PTFE upon C$$_{60}$$ ion impacts

平田 浩一*; 齋藤 勇一; 千葉 敦也; 山田 圭介; 鳴海 一雅; 神谷 富裕

Hirata, Koichi*; Saito, Yuichi; Chiba, Atsuya; Yamada, Keisuke; Narumi, Kazumasa; Kamiya, Tomihiro

数百keV程度のC$$_{60}$$1次イオンを用いた試料表面からの2次イオン質量分析装置を開発し、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)から放出される各2次イオンの放出強度に関して、C$$_{60}$$クラスターイオンの入射イオンエネルギー依存性を調べた。その結果、C$$_{60}$$の入射エネルギーが30keV$$rightarrow$$60keV$$rightarrow$$120keV$$rightarrow$$270keVと高くなるにつれて、上記の特徴的な2次イオン強度が高くなっていることがわかった。これにより、C$$_{60}$$の入射エネルギーを高くすることで、PTFE分析に必要な2次イオン強度を高めることが可能であり、高感度分析に有効であることを明らかにした。

no abstracts in English

使用言語

 :

Japanese

掲載資料名

 :

巻

 :

号

 :

ページ数

 :

発行年月

 :

発表会議名

 :

第6回高崎量子応用研究シンポジウム

開催年月

 :

2011/10

開催都市

 :

高崎

開催国

 :

日本

キーワード

 :

no keyword

特許データ

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PDF

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論文URL

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研究データの公開先DOI

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使用施設

 :

TIARA(イオン照射研究施設)

広報プレスリリース

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論文解説記事
(成果普及情報誌)

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受委託・共同研究相手機関

 :

産業技術総合研究所

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