Plasma transition caused by change of gas using multiturn internal RF antenna

多数巻き内部RFアンテナにおける気体の変化によって生じたプラズマ遷移

Yamauchi, Toshihiko; Hamajima, Takafumi*; Kobayashi, Seiji*; Kanno, Yoshinori*; Hiruta, Toshihito

We observed the different types of transition (direct, self-pulse, normal transition) using an internal multiturn antenna. Transition time increased in proportion to gas pressure, which was connected with the collision time. It is considered that the detailed observation of hot plasma ring in CCP is a key for the explanation of transition.

使用言語	:	English
掲載資料名	:
巻	:
号	:
ページ数	:
発行年月	:
発表会議名	:	4th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2012)
開催年月	:	2012/03
開催都市	:	Kasugai
開催国	:	Japan
キーワード	:	no keyword

特許データ	:
PDF	:

論文URL	:
研究データの公開先DOI	:
使用施設	:
広報プレスリリース	:
論文解説記事 (成果普及情報誌)	:
受委託・共同研究相手機関	:

Access	:	- Accesses
Web of Science® Times Cited Count	:	被引用回数：評価・統計等のため最新の被引用回数を確認したい場合は、直接Web of Science®をご確認ください。 http://www.webofknowledge.com/wos
InCites™	:
Altmetrics	:

登録番号 : BB20113167
抄録集掲載番号 :
論文投稿番号 :

[CLARIVATE ANALYTICS], [WEB OF SCIENCE], [HIGHLY CITED PAPER & CUP LOGO] and [HOT PAPER & FIRE LOGO] are trademarks of Clarivate Analytics, and/or its affiliated company or companies, and used herein by permission and/or license.