日本原子力研究開発機構表面反応ダイナミクス研究グループ

Surface reaction dynamics research group, Japan Atomic Energy Agency

原子力機構は現在SPring-8に専用ビームラインと研究棟を保有している。そのうち、BL23SUは軟X線ビームラインである。BL23SUは原子力機構の表面化学・放射線生物学・重元素化合物の電子状態研究に利用されるほか、外部研究機関に対する研究支援にも活用されている。当表面反応ダイナミクス研究グループでは、BL23SUに表面化学実験ステーション(SUREAC2000)を設置して、産業上重要な半導体や金属表面の酸化膜や窒化膜の形成過程を、その反応ダイナミクスにまで立ち入って解析してきた。現在、Ge酸化, Ni酸化, Al窒化のほか、文部科学省から受託したナノテクノロジープラットフォーム事業に取り組んでいる。本稿では超高真空表面化学実験ステーションSUREAC2000と、それを活用して行われてきた表面化学研究(シリコン極薄酸化膜形成過程の反応ダイナミクス、NO配向分子線によるシリコン酸窒化反応確率のNO配向依存性)について簡単に紹介し、さらに、外部研究機関への研究支援(ナノテクノロジープラットフォーム)についても紹介する。

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使用言語	:	Japanese
掲載資料名	:	真空ジャーナル
巻	:
号	:	143
ページ数	:	p.22 - 23
発行年月	:	2013/01
発表会議名	:
開催年月	:
開催都市	:
開催国	:
キーワード	:	no keyword

特許データ	:
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論文URL	:
研究データの公開先DOI	:
使用施設	:	SPring-8(大型放射光施設)
広報プレスリリース	:
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Access	:	- Accesses
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登録番号 : AA20120663
抄録集掲載番号 :
論文投稿番号 : 12526

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