金属リチウムの薄膜表面へのイオン注入法による窒化リチウム薄膜生成に関する研究

Synthesis of lithium nitride composite on the lithium surface by ion plantation technique

石山 新太郎; 馬場 祐治  ; 藤井 亮*; 中村 勝*; 今堀 良夫*

Ishiyama, Shintaro; Baba, Yuji; Fujii, Ryo*; Nakamura, Masaru*; Imahori, Yoshio*

窒化リチウムLiNは高温安定性が高い伝導材であることからLi電極材や最近ではBNCT治療用中性子源リチウムターゲット材として注目されている。通例LiNはLiが水や酸素が特定量介在した窒素環境下において室温でも簡単に合成できが特定量以下では合成されないとされていた。一方、BNCT医療装置用Liターゲットでは中性子発生時のプロトンイオン照射中によるLi蒸発防止のためLi表面を窒化することが効果的であると考えられるが、BNCT装置の運用上Li表面の窒化は真空容器内でのIn-situ合成が望ましい。そのため本研究ではPd/Cu試料表面に真空蒸着法でLi薄膜を生成後、そのLi表面に高真空容器内でのイオンプランティング法によるIn-situ窒化を試み合成物の組成分析を実施した結果、LiNの生成を確認した。

To achieve high performance of BNCT (Boron Neutron Capture Therapy) device, LiN/Li/Pd/Cu four layered Li target was designed and t synthesized by lithium deposition and ion implantation technique without HO and O. The composition and structure of lithium-nitride composite synthesized on the surface of lithium layer for the purpose of avoiding the radiation blistering and lithium evaporation during neutron production