原子過程と輻射流体

Atomic processes and radiation hydrodynamics

Sasaki, Akira; Sunahara, Atsushi*; Nishihara, Katsunobu*

現在、実用化に向けた開発が進められている、リソグラフィ用EUV光源の原子過程と輻射流体について議論する。これまでの研究で明らかになった、Snプラズマの特性と、それを解析するための手法について述べ、現在の重要な研究課題と考えられている、高効率化及び短波長化の見通しについて述べる。ダブルパルスレーザー照射によって、最適な温度,密度を持つプラズマを生成する可能性について検討する。希土類原子の4d-4f遷移ほかの発光線を用いた短波長光源の特性を予測を示す。また、原子過程,輻射流体の観点で、モデリングの課題について議論する。

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使用言語	:	Japanese
掲載資料名	:	プラズマ・核融合学会誌
巻	:	89
号	:	10
ページ数	:	p.654 - 658
発行年月	:	2013/10
発表会議名	:
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キーワード	:	no keyword

特許データ	:
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論文URL	:	http://www.jspf.or.jp/Journal/PDF_JSPF/jspf2013_10/jspf2013_10-654.pdf
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Access	:	- Accesses
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登録番号 : AA20130318
抄録集掲載番号 : 41001451
論文投稿番号 : 13462

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