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成膜中その場紫外光照射したC$$_{60}$$薄膜の重合状態と電気的特性

Polymerization and electric conductivity of C$$_{60}$$ film deposited under ${it in-situ}$ UV light irradiation

境 誠司; 新井 大二朗; 谷本 久典*; 大伴 真名歩; 圓谷 志郎; 松本 吉弘

Sakai, Seiji; Arai, Daijiro; Tanimoto, Hisanori*; Otomo, Manabu; Entani, Shiro; Matsumoto, Yoshihiro

C$$_{60}$$分子が共有結合したC$$_{60}$$ポリマーは特異な電子状態を持つことから、電気伝導性の上昇など通常のC$$_{60}$$膜とは異なる物性の発現が期待されている。C$$_{60}$$分子は光照射や高温高圧保持など種々の方法によってポリマー化することが知られており、中でも光照射法は作製コストやポリマー領域の制御といった点で有利である。しかしC$$_{60}$$膜への光の侵入長は数十nm程度であるため、従来からの成膜後に光照射を行う方法では、得られる膜厚が侵入長以下に制限されることや膜質の深さ方向への不均質が生じてしまう。本研究では成膜中にその場光照射することで厚さが300nmのC$$_{60}$$ポリマー薄膜を作製し、X線回折(XRD), ラマン分光、及び原子間力顕微鏡(AFM)観察結果によりC$$_{60}$$の重合状態を調べた。さらにC$$_{60}$$ポリマーを半導体層とする電界効果トランジスタ(FET)を作製し、電気伝導特性の評価を行った。

no abstracts in English

発表言語

 :

Japanese

掲載資料名

 :

巻

 :

号

 :

ページ数

 :

発行年月

 :

発表会議名

 :

2013年秋季第74回応用物理学会学術講演会

開催年月

 :

2013/09

開催都市

 :

京田辺

開催国

 :

日本

キーワード

 :

no keyword

特許データ

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PDF

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論文URL

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研究データの公開先DOI

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使用施設

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広報プレスリリース

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論文解説
(JAEA R&D Navigator)

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受委託・共同研究相手機関

 :

筑波大学

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