検索対象:     
報告書番号:
※ 半角英数字
 年 ~ 
 年

Development of high resistant anti-reflection coating by using Al$$_{2}$$O$$_{3}$$/SiO$$_{2}$$ multilayer

Al$$_{2}$$O$$_{3}$$/SiO$$_{2}$$多層膜を用いた高耐力コーティング技術の開発

越智 義浩; 永島 圭介; 岡田 大; 田中 桃子; 立野 亮*; 古川 泰之*; 杉山 僚

Ochi, Yoshihiro; Nagashima, Keisuke; Okada, Hajime; Tanaka, Momoko; Tateno, Ryo*; Furukawa, Yasuyuki*; Sugiyama, Akira

Al$$_{2}$$O$$_{3}$$/SiO$$_{2}$$多層膜を用いた無反射(AR)、及び高反射(HR)コーティングの高耐力化に関する技術開発を行った。原子力機構にて設計し、島津製作所にて製膜した無反射コーティングについて、1kHz繰り返しの500psレーザーにて耐力評価を行った結果、平均値として36J/cm$$^{2}$$が得られた。また、高反射コーティングについても同様に設計,製膜を行い7ns, 500ps, 1psのパルス幅のレーザーを用いた耐力評価を行った。得られた結果から、ダメージ発生の素過程についての考察を行った結果等について報告する。

We designed and fabricated high damage-resistant AR coating using Al$$_{2}$$O$$_{3}$$/SiO$$_{2}$$ layers. As a result of irradiation test using 500 ps pulses at 1 kHz, the damage threshold of the AR coating was estimated to be over 36 J/cm$$^{2}$$ (average value). We also fabricated high reflection (HR) mirrors using Al$$_{2}$$O$$_{3}$$/SiO$$_{2}$$ layers added on Ta$$_{2}$$O$$_{5}$$/SiO$$_{2}$$ layers and measured damage threshold of them for 7 ns, 500 ps, and 1 ps pulses.

Access

:

- Accesses

InCites™

:

パーセンタイル:8.86

Altmetrics

:

[CLARIVATE ANALYTICS], [WEB OF SCIENCE], [HIGHLY CITED PAPER & CUP LOGO] and [HOT PAPER & FIRE LOGO] are trademarks of Clarivate Analytics, and/or its affiliated company or companies, and used herein by permission and/or license.