EUV光源の原子過程、輻射流体の構築に関する考察

Modeling methods of atomic processes and radiation hydrodynamics of EUV sources

Sasaki, Akira; Sunahara, Atsushi*; Nishihara, Katsunobu*

現在、次世代半導体リソグラフィ用EUV光源の実用化の高出力化や、将来に向けた短波長化の研究が鋭意進められている。高効率を得るために、微小ドロップレットターゲットをダブルパルスレーザーで照射する方法が試みられている。ドロップレットが分散され、微粒子を生成するために考えられている、レーザーのアブレーション圧力によって破砕される過程、いったん加熱されて蒸発したSnが凝縮する過程を取り扱うことができるシミュレーション手法について検討しているので報告する。2次元ラグランジプラズマ流体シミュレーションに、固体ターゲットのプラズマ化過程(相転移)を取り入れる方法について検討する。

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使用言語	:	Japanese
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発表会議名	:	2014年(平成26年)第61回応用物理学会春季学術講演会
開催年月	:	2014/03
開催都市	:	相模原
開催国	:	日本
キーワード	:	no keyword

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受委託・共同研究相手機関	:	ギガフォトン

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登録番号 : BB20133084
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