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1$$sim$$3.5keV領域ワイドバンド多層膜回折格子の開発

Development of a wide band multilayer grating in 1-3.5 keV

今園 孝志; 小池 雅人

Imazono, Takashi; Koike, Masato

薄膜型太陽電池の光吸収層の物性研究において、軟X線発光分光法は、光吸収層等の埋もれた物質の化学結合状態を非破壊的に、元素選択的に励起及び評価することができる計測手法として有効である。これまでの研究において、2000$$sim$$4000eV領域の回折効率を一様に高めることができるワイドバンドW/B$$_4$$C多層膜回折格子を開発した。しかし、これを用いたとしても、CIS系太陽電池の主成分(Cu-$$L$$(0.9keV), In-$$L$$(3.4keV), Se-$$L$$(1.4keV))からの発光計測用途としては実用的とは言えないため、当該領域(0.9$$sim$$3.5keV)をカバーできる新しいワイドバンドNi/C多層膜回折格子と分光器を開発した。

Soft X-ray emission spectroscopy is a powerful tool for a nondestructive evaluation technique for the electronic structure of a buried layer such as an absorber in thin-film solar cells. In our previous study, a wide band W/B$$_4$$C multilayer grating spectrograph has been successfully developed, but the detection area cannot cover the energy range of 1-3.5 keV, in which the characteristic X-ray lines of Cu-$$L$$ (0.9 keV), In-$$L$$ (3.4 keV), Se-$$L$$ (1.4 keV) from a CIS solar cell are included. We newly developed a wide band Ni/C multilayer grating to cover the energy range from 1 keV to 3.5 keV at a constant incidence angle.

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