金属膜を用いたナトリウム中検査用光学式超音波センサの感度特性

Sensitivity characteristics of optical ultrasonic sensors using a metallic membrane for under-sodium inspection

猿田 晃一   ; 山口 智彦 ; 上田 雅司 

Saruta, Koichi; Yamaguchi, Toshihiko; Ueda, Masashi

ナトリウム中検査用光学式超音波センサの超音波受信部である金属膜について、直径、膜厚などのパラメータが検出感度・特性に与える影響を実験的に評価した。円形開口を設けた平板に金属膜を接合し製作した受信部に、水中を伝搬する超音波を入射し、膜に生じる振動をヘテロダイン干渉計で検出した。金属膜には、直接入射した超音波による振動と開口周部から伝搬する表面波が発生する。前者は直径には依存せず、膜厚が小さいほど大きな振幅が得られた。一方、後者は、直径、膜厚が小さいほど振幅が増幅する傾向が見られた。したがって、小径, 薄膜の金属膜により検出感度の向上が可能になると考えられる。

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