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有機高分子薄膜へのC$$_{60}$$イオン照射と単原子重イオン照射による2次イオン放出強度の比較

Comparison of intensities of secondary ions emitted from thin organic polymer films induced by a C$$_{60}$$ ion and a single atom heavy ion irradiation

平田 浩一*; 齋藤 勇一; 鳴海 一雅; 千葉 敦也; 山田 圭介; 的場 史朗

Hirata, Koichi*; Saito, Yuichi; Narumi, Kazumasa; Chiba, Atsuya; Yamada, Keisuke; Matoba, Shiro

クラスター数が大きく安定で2次イオン強度が高いC$$_{60}$$を、sub-MeV$$sim$$数MeV領域まで加速し、1次イオンとして用いた2次イオン質量分析装置を開発している。今回、市販の2次イオン質量分析装置の1次イオンとして広く用いられている重イオンの一つであるBiイオンとC$$_{60}$$イオンとで、1次イオン種は異なるが2次イオン強度を比較し、より高強度な2次イオンが得られることを実証した。具体的には、市販装置で一般的に用いられる30keVのBiイオン及び同エネルギーのC$$_{60}$$イオンを有機高分子(PMMA)薄膜試料に照射し、試料表面から放出された2次イオンを飛行時間型質量分析器で分析した。その結果、C$$_{60}$$を1次イオンとして用いる方が、PMMAの分析に必要なフィンガープリントに相当する2次イオン(C$$_2$$H$$_3$$O$$_2$$$$^+$$とC$$_4$$H$$_5$$O$$^+$$)の強度が20倍強かった。C$$_{60}$$イオンのエネルギーを1MeV程度にすることによりさらに2次イオン強度が数倍以上強くなることを確認しており、従来のものより高感度な分析を実現できることがわかった。

no abstracts in English

使用言語

 :

Japanese

掲載資料名

 :

巻

 :

号

 :

ページ数

 :

発行年月

 :

発表会議名

 :

第9回高崎量子応用研究シンポジウム

開催年月

 :

2014/10

開催都市

 :

高崎

開催国

 :

日本

キーワード

 :

クラスターイオン 表面分析 C60イオン

特許データ

 :

PDF

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論文URL

 :

研究データの公開先DOI

 :

使用施設

 :

TIARA(イオン照射研究施設)

広報プレスリリース

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論文解説記事
(成果普及情報誌)

 :

受委託・共同研究相手機関

 :

産業技術総合研究所

Access

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