Hydrodynamics modeling of the dynamics of Sn droplet target for the EUV source

EUV光源用Snドロップレットターゲットのダイナミクスの流体力学モデリング

リソグラフィ用レーザープラズマEUV光源の高出力、高効率化のために、ダブルパルス励起法が有効であることが実験的に示されている。比較的低強度のプリパルスレーザーでSnドロップレットを照射すると、ミストが生成し、これをメインパルスレーザーで加熱すると発光に適した低密度の均一なプラズマが生成されると考えられ、ミストの生成過程を理解し最適化することが必要と考えられている。本発表では、2次元ラグランジ流体シミュレーションにおいて、セルの任意の分割、融合操作を取り入れることで、Snターゲットが加熱され蒸発する過程で、気相のバブル、液相のクラスタを生成する過程を再現することを試みた結果を報告する。

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使用言語	:	English
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発表会議名	:	2014 International Workshop on EUV and Soft X-ray Sources
開催年月	:	2014/11
開催都市	:	Dublin
開催国	:	Ireland
キーワード	:	EUV光源; レーザー生成プラズマ; シミュレーション

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受委託・共同研究相手機関	:	ギガフォトン

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登録番号 : BB20142039
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