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Si基板上エピタキシャルグラフェンのNi援用低温形成とシリサイド化の役割

Ni-assisted low temperature formation of graphene on Si substrate and role of silicidization

長谷川 美佳*; 菅原 健太*; 須藤 亮太*; 三本菅 正太*; 原本 直樹*; 寺岡 有殿; 吉越 章隆 ; 吹留 博一*; 末光 眞希*

Hasegawa, Mika*; Sugawara, Kenta*; Suto, Ryota*; Sambonsuge, Shota*; Haramoto, Naoki*; Teraoka, Yuden; Yoshigoe, Akitaka; Fukidome, Hirokazu*; Suemitsu, Maki*

Si基板上SiC薄膜の加熱グラフェン化にNi援用法を適用することで、Si基板上エピタキシャルグラフェンの低温形成に成功した。グラフェン評価にはラマン散乱分光法を、形成過程評価にはSPring-8のBL23SU表面化学実験ステーションにおけるX線光電子分光法を用いた。Niシリサイドの形成が加熱開始から冷却までの間に絶えず進行していること、とくに冷却時にシリサイド形成が加速され、その際にグラフェン形成が進行することが分かった。1073K以上で生ずるNiのシリサイド化によって過剰C原子が 供給され、基板冷却の間にNiのシリサイド化と同時にグラフェンが形成すると考えられる。

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