レーザー光とEUV光源用Snターゲットの初期の相互作用のモデリング

Modeling of initial interaction between laser and Sn target for the EUV source

佐々木 明; 西原 功修*; 砂原 淳*

Sasaki, Akira; Nishihara, Katsunobu*; Sunahara, Atsushi*

リソグラフィ用レーザーEUV光源の研究では、高出力、高効率化が重要と考えられ、このためにレーザーとターゲットの相互作用のモデリングとそれに基づく最適化が重要と考えられている。低強度のプリパルスレーザーでSn液滴ターゲットを照射して起こる、ターゲット物質の分解、微粒子あるいはミストの生成過程に関する、流体力学モデリングを行っている。自己組織化するラグランジメッシュを用い、複数のセルから構成するメタセルについて熱力学的に正しい気相、液相の分布を与える方法によって、気液相転移、相分離を扱い、加熱されたドロップレットの蒸発過程、いったん気化したSnが膨張する際の凝縮過程のシミュレーションを試みているので報告する。

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