EUV光源プラズマのモデリング

Modeling of the laser pumped plasma (LPP) EUV sources

リソグラフィ用EUV光源の高出力、高効率化のための、原子過程・輻射流体力学のモデリングとシミュレーションについて述べる。最近実験研究が行われている、プリパルスレーザーでSn液滴を分散する方法について、自己組織化ラグランジメッシュを用いる2次元流体シミュレーションにおいて、セルの分割、融合および、物理量の再配分によって、レーザーで加熱された液体Snが蒸発したり、いったん気化したSnが凝結して粒子生成する過程の解析を行っている。非構造格子を用いた流体シミュレーションの精度の向上、液相および気相Snの状態方程式についても議論する。

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使用言語	:	Japanese
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発表会議名	:	レーザー学会第469回研究会「レーザー・ビーム・パルスパワー技術によるBeyond EUV光源」
開催年月	:	2014/12
開催都市	:	喜多方
開催国	:	日本
キーワード	:	EUV光源; レーザー生成プラズマ; 輻射流体シミュレーション

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受委託・共同研究相手機関	:	ギガフォトン

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登録番号 : BB20142554
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