多層膜回折格子の放射光への応用; keV領域回折格子分光器ビームラインにおける新展開

Applications of multilayered gratings to synchrotron light sources; New horizon of diffraction grating monochromators in the keV region

小池 雅人; 今園 孝志; 石野 雅彦

Koike, Masato; Imazono, Takashi; Ishino, Masahiko

放射光や軟X線レーザー光等の高輝度光源を利用した先端的な物性研究を推進するうえで18keV領域に現れる軽元素の吸収・発光・蛍光分析に適した高効率軟X線分光器の開発が必要とされている。従来の金の単層膜を積層した回折格子では金のM端(2.2keV)以上では、消衰係数が大きくなるため極端な斜入射で用いる必要があり、実用的な分光器を構成できない難点がありほとんど実用に至っていない。本報告では、単層膜の代わりに軟X線多層膜を積層することでこの壁を破るラミナー型回折格子の開発の現状と、その放射光用分光器への応用の可能性について述べる。

The demand for the physical-properties research using powerful light sources, such as synchrotron radiation and soft-X-rays laser light, is increasing. When promoting such research, it is required to develop efficient soft-X-ray spectrometers suitable for absorption, emission, and fluorescence which are appeared in an energy rage of 1-8 keV. We describe the development of laminar type diffraction gratings which enhance diffraction efficiency remarkably by use of soft-X-ray multilayers instead of single metal layers.