自己組織化ラグランジメッシュを用いた流体コードによるEUV光源ターゲット分散過程のモデル化

Modeling of fragmentation of the target for EUV source using a self-organizing Lagrangian hydrodynamics simulation

佐々木 明; 砂原 淳*; 西原 功修*

Sasaki, Akira; Sunahara, Atsushi*; Nishihara, Katsunobu*

現在、次世代半導体リソグラフィ用EUV光源の実用化に向けた研究開発が進められており、プリパルスレーザー照射でSn液滴を微粒子に分散する方法に関し、モデル化を通じて最適化することが重要と考えられている。われわれは、有限の時間的、空間的分解能の範囲において、自己組織化するラグランジメッシュを構築し、平衡熱力学に基づく気液相転移、二相共存状態を扱う、2次元流体シミュレーションコードの開発を行っている。特に、Snのファンデルワールス状態方程式を用い、温度、密度に対する液相、気相の比率を求め、それを満足するようにセルを分割することで相転移、相分離を扱うようにし、レーザー照射されたSn液滴が粒子となって飛散する過程や、いったん気化したSnが凝結する過程を扱うコードの開発を行ない、テスト計算を行った結果や、そこで見出された問題点、およびその解決方法について議論する。

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