EUV光源用Sn液滴ターゲットとレーザー照射初期の相互作用と微粒子生成のモデル化

Modeling of mist formation during the initial interaction between Sn droplet target for EUV source and pre pulse laser

佐々木 明; 砂原 淳*; 西原 功修*

Sasaki, Akira; Sunahara, Atsushi*; Nishihara, Katsunobu*

レーザー生成プラズマEUV光源は次世代半導体リソグラフィ用に研究開発が進められているが、Sn液滴ターゲットを低強度のプリパルスレーザーで照射して微粒子のクラウドまたはミストを生成し、それをCOレーザーで照射して高効率が得られている。EUV光源として用いるレーザー照射プラズマの特徴を、高温の気相Snが膨張、冷却する際にクラスタを生成する過程、短パルスレーザー照射によって発生した衝撃波が液滴を破砕する過程などに分けて解析し、2次元ラグランジ流体シミュレーションで再現することを試みる。メッシュの再配置のアルゴリズム、相転移の物理モデルとその数値計算手法およびその検証方法について議論する。

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