レーザー材料の接合技術に関する研究

Study of bonding methods for laser optical materials

独自に開発した接合技術をレーザー光学材料の接合に用いた結果について紹介する。化学処理による表面改質やドライエッチングを行うことで表面に水酸基を施し、水素結合を行った後に脱水縮合反応で酸素分子を架橋とした直接接合化する方法と、中性アルゴンビーム照射によって表面を活性化し、ダングリングボンドを形成させた後に、熱処理によって接合強度を増加させる表面活性化接合法について、それぞれの利点・欠点を説明する。

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使用言語	:	Japanese
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発表会議名	:	第12回レーザー学会「マイクロ固体フォトニクス」専門委員会/第3回日本燃焼学会レーザー点火研究委員会
開催年月	:	2015/02
開催都市	:	岡崎
開催国	:	日本
キーワード	:	結晶接合; レーザー; 光学素子

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登録番号 : BB20143271
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