Experimental evaluation of enhancement of diffraction efficiency by overcoating diamond-like carbon (DLC) on soft X-ray laminar-type gratings

ラミナー型軟X線回折格子にオーバーコートしたダイヤモンドライクカーボン(DLC)による回折効率向上に関する手法の実験的評価

今園 孝志; 小池 雅人; 長野 哲也*; 笹井 浩行*; 大上 裕紀*; 倉本 智史*; 寺内 正己*; 高橋 秀之*; 能登谷 智史*; 村野 孝訓*; Gullikson, E. M.*

Imazono, Takashi; Koike, Masato; Nagano, Tetsuya*; Sasai, Hiroyuki*; Oue, Yuki*; Kuramoto, Satoshi*; Terauchi, Masami*; Takahashi, Hideyuki*; Notoya, Satoshi*; Murano, Takanori*; Gullikson, E. M.*

高密度炭素膜、すなわち、ダイヤモンドライクカーボン(DLC)をNiコート回折格子の表面に積層するだけで、その回折効率を向上できることが分かった。NiとDLCの膜厚はそれぞれ30nmと23nmである。B-K発光線の波長6.76nmにおける入射角87.07でのDLC/Ni回折格子の回折効率は26.9%であった。これはシミュレーションで得た値(29.7%)の約9割に達し、参照試料であるNi回折格子の16.9%、Au回折格子の12.5%に比べ高い。本測定結果は、汎用軟X線回折格子の回折効率をDLCのオーバーコートによって高効率化できることを示した最初の実験的結果である。

We have experimentally found that the diffraction efficiency of a Ni-coated grating can be improved by merely overcoating a high-density carbon film, i.e., diamond-like carbon (DLC), on the grating. The thickness of Ni and DLC layers were 30 nm and 23 nm, respectively. The diffraction efficiencies of the Ni grating with DLC overcoating was measured to be 26.9% at 6.76 nm at an incident angle of 87.07, which is about 90% of a simulation value of 29.7% and exceeds the measured efficiencies of the reference gratings, i.e., 16.9% for the Ni grating and 12.5% for the Au grating. This is the first experimental results of the enhancement of the diffraction efficiency by overcoating with a DLC on a conventional grating.