Investigation of near surface defects in metal samples produced by mechanical cutting/polishing using positron annihilation spectroscopy

機械加工により金属試料表面近傍に形成される欠陥の陽電子消滅法による測定

Jiang, L.*; 大島 永康*; O'Rourke, B. E.*; 鈴木 良一*; 原田 祥久*; 鈴木 隆之*; 高津 周平*; 平出 哲也  ; 高井 健一*

Jiang, L.*; Oshima, Nagayasu*; O'Rourke, B. E.*; Suzuki, Ryoichi*; Harada, Yoshihisa*; Suzuki, Takayuki*; Takatsu, Shuhei*; Hirade, Tetsuya; Takai, Kenichi*

陽電子消滅法は、原子空孔, 空孔クラスター, ナノボイドなどの欠陥に敏感な分析手法である。産業技術総合研究所に整備されている陽電子プローブマイクロアナライザー(PPMA)は陽電子マイクロビームを走査することで、欠陥分布を観察することが可能である。PPMAを使用する場合、陽電子の打ち込み深さが浅いため、試料の作成時に導入される欠陥は重要な問題である。ここでは、2つの試料加工方法、放電加工のみと放電加工後にコロイダルシリカによる研磨を行うことで導入される欠陥について、SUS316Lのほかいくつかの試料について、これらの加工方法で導入される欠陥の深さ分布を陽電子消滅法で調べた。

Positron annihilation spectroscopy (PAS) is a sensitive method for detection of defects such as vacancies, vacancy clusters and nano-voids. The positron probe microanalyzer (PPMA) in AIST can investigate defect distribution of materials using a scanning positron microbeam. For the application of the PPMA for analysis of such materials it is important to consider the defects introduced during the sample preparation. we are investigating two kinds of sample preparation process, electrical discharge machining (EDM) and colloidal silica polishing after EDM. We are studying the depth dependence of the density of the defects induced by these processes in various metals, including SUS316L, using PAS.