放射光リアルタイム光電子分光を用いたシリコン表面酸化反応ダイナミクスの研究

Synchrotron radiation real time photoelectron spectroscopy study on oxidation dynamics of Si surface

本講演では放射光を励起光源に利用したリアルタイム光電子分光によって明らかとなったシリコン単結晶表面酸化反応の研究を中心に紹介し、ナノテクノロジー開発における表面化学研究の重要性と将来展望を議論する。

In this seminor recent study on oxidation dynamics of Si surfaces using synchrotron radiation real time photoelectron spectroscopy is presented and the importance and future perspective of surface chemistry in nanotechnology researches is discussed.

使用言語	:	Japanese
掲載資料名	:
巻	:
号	:
ページ数	:
発行年月	:
発表会議名	:	物質・材料研究機構第9回水素利用材料ユニットセミナー
開催年月	:	2015/07
開催都市	:	つくば
開催国	:	日本
キーワード	:	放射光光電子分光; リアルタイム観察; 表面酸化

特許データ	:
PDF	:

論文URL	:
研究データの公開先DOI	:
使用施設	:	SPring-8(大型放射光施設)
広報プレスリリース	:
論文解説記事 (成果普及情報誌)	:
受委託・共同研究相手機関	:

Access	:	- Accesses
Web of Science® Times Cited Count	:	被引用回数：評価・統計等のため最新の被引用回数を確認したい場合は、直接Web of Science®をご確認ください。 http://www.webofknowledge.com/wos
InCites™	:
Altmetrics	:

登録番号 : BB20151066
抄録集掲載番号 :
論文投稿番号 :

[CLARIVATE ANALYTICS], [WEB OF SCIENCE], [HIGHLY CITED PAPER & CUP LOGO] and [HOT PAPER & FIRE LOGO] are trademarks of Clarivate Analytics, and/or its affiliated company or companies, and used herein by permission and/or license.