中性子反射率計による表面・界面の解析

Structural analysis of surface and interface by neutron reflectometry

中性子反射率法は物質の表面や数nmから数十nmの厚さの膜が積層した多層膜の界面の構造を非破壊的にnmスケールで調べることのできる解析手法である。講演では中性子反射率法の紹介を行うとともに、JRR-3とJ-PARCのMLFに設置されている中性子反射率計の利用の仕方を説明する。

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使用言語	:	Japanese
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発表会議名	:	表面技術とものづくり研究部会第20回例会(大強度陽子加速器施設J-PARC見学会)
開催年月	:	2017/10
開催都市	:	東海
開催国	:	日本
キーワード	:	表面・界面; 構造; 中性子反射率法

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使用施設	:	J-PARC物質・生命科学実験施設 ;JRR-3M(研究炉3)
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登録番号 : BB20171366
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