電子顕微鏡技術を用いた先端材料分析

Advanced material analysis using electron microscope technology

北原 保子*; 猪瀬 明*; 槇石 規子*; 名越 正泰*

Kitahara, Yasuko*; Inose, Akira*; Makiishi, Noriko*; Nagoshi, Masayasu*

優れた特性を有する電池材料や磁石材料といった先端機能材料を設計するためには、特性発現メカニズムを解き明かし、その本質を定量的に評価することが必須である。これらの材料評価において、化学分析および物理解析技術は従来から威力を発揮してきた。しかし、冒頭で述べた目的のためにはこれらの技術をさらに展開させる必要がある。我々は、走査電子顕微鏡(SEM), 走査透過電子顕微鏡(STEM), 電子線マイクロアナライザー(EPMA)などの物理解析技術を駆使して、特性に直結する情報を可視化する、あるいは特性発現に寄与する情報を抽出し定量的に評価する、等を推進している。本報告では我々が取組んでいる最近の事例を紹介する。

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