レーザー誘起ブレークダウン分光法(LIBS)を用いたホウ化ジルコニウムの表面硬度測定への適用検討,2; 組成を変えた供試試料による測定特性

Study on measurement technique for ZrBx composition and hardness based on Laser Induced Breakdown Spectroscopy (LIBS), 2; Measurement characteristic on different composite specimens

岡崎 航大*; 川上 智彦*; 阿部 雄太  ; 大高 雅彦; 大石 佑治*

Okazaki, Kodai*; Kawakami, Tomohiko*; Abe, Yuta; Otaka, Masahiko; Oishi, Yuji*

本報では、ジルコニウム系ホウ化物(ZrB)に着目し、ZrとZrBからなる複合材料(ZrBx)を測定対象として、LIBSによる元素情報(組成比)に加え材料特性として重要なビッカース硬さ情報の簡便かつ迅速な測定手法としての適用検討を行った。本手法の測定特性調査のため、ホウ素/ジルコニウム比が異なる複数試料について、本手法による測定結果と併せ、LA-ICP質量分析や微小ビッカース硬さによる測定結果との相関を評価した結果、その適用性が示された。

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