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放射光を用いたアモルファスアルミナReRAMの電子構造の直接観察

Direct observation of electronic structure of amorphous alumina ReRAM by synchrotron radiation

加藤 誠一*; 児子 精祐*; 久保田 正人; 雨宮 健太*

Kato, Seiichi*; Nigo, Seisuke*; Kubota, Masato; Amemiya, Kenta*

アモルファスアルミナReRAMのスイッチング現象の電子状態の理解のために放射光実験を行った。酸素周辺ではオン状態でサブバンドに起因するとみられるピークが観測された。一方、アルミニウムサイトではこのピークは観測されなかった。アモルファスアルミナは、オン・オフ状態の変化に際して、化学変化は伴っていないことを明らかにした。

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