Performance of the NEG-coated titanium vacuum chamber

非蒸発型ゲッター(NEG)コーティングをしたチタン製真空容器の性能評価

神谷 潤一郎   ; 和田 薫; 大久保 成彰   

Kamiya, Junichiro; Wada, Kaoru; Okubo, Nariaki

真空容器壁に気体吸着作用(ゲッター作用)を持たせ、省エネ、省スペースで超高真空を得る技術は、加速器、分析装置、半導体製造工程などで必要性が増している。我々はチタン材のゲッター作用に着目し、繰り返しの利用でも性能劣化が少ないゲッター機能を持った真空壁の開発を行っている。今回、チタン製真空容器の表面酸化膜を除去したうえに非蒸発型ゲッター(Non-evaporable getter: NEG)材をコーティングする開発を行った。試作した真空容器は特に酸素や二酸化炭素に対して高い吸着確率を持つことがわかり、大気開放と活性化を繰り返して到達圧力が悪化しないことがわかった。さらに8か月以上も超高真空状態を他のポンプなしで維持できること、透過型電子顕微鏡の試料交換時の圧力悪化を抑制できることの性能実証に成功した。この技術の加速器への適用によりビームラインを連続的な真空ポンプとし、一様な超高真空を得ることができる。また電子顕微鏡などの真空容器に適用することで、輸送時のバッテリーが必要なくなるという産業的イノベーションへ繋がる技術である。本発表では、NEGコーティングしたチタン製真空容器の性能評価結果についての報告を行う。

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