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多変量解析を用いた多地点LIBSの解析検討

Analytical study of multipoint LIBS using multivariate analysis

川上 智彦*; 長山 咲子*; 横田 裕海; 阿部 雄太  ; 大高 雅彦; 藤本 勝成*; 高貝 慶隆*

Kawakami, Tomohiko*; Nagayama, Sakiko*; Yokota, Hiromi; Abe, Yuta; Otaka, Masahiko; Fujimoto, Katsushige*; Takagai, Yoshitaka*

レーザー誘起ブレークダウン分光法(LIBS)を用いて多地点を網羅的に計測し、計測位置情報とLIBSによる計測結果を関連付けることにより元素マッピングを行っている。制御雰囲気を窒素及びアルゴンでLIBS測定を実施し多変量解析を用いて解析方法を検討したので報告する。

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