HAXPESによるNEG材料表面の気体吸着作用の研究

Study of NEG surface reaction with gas molecules by in-situ HAXPES

小畠 雅明 ; 福田 竜生  ; 谷田 肇  ; 神谷 潤一郎   ; 諸橋 裕子 ; 山田 逸平 ; 阿部 一英

Kobata, Masaaki; Fukuda, Tatsuo; Tanida, Hajime; Kamiya, Junichiro; Morohashi, Yuko; Yamada, Ippei; Abe, Kazuhide

J-PARCの神谷らはこれまでの研究で、チタンのゲッター性能を利用して、チタン製真空容器内側の表面酸化膜除去と非蒸発型ゲッター(Non-evaporable getter: NEG)合金をコーティングすることで、容器そのものに高性能なゲッターポンプ作用を持たせる技術を開発した。本技術で開発したNEGポンプは、大気暴露と活性化を繰り返して到達圧力の推移を測定した結果、表面改質した真空容器は通常に比べ、高い真空到達度を得られることと、繰り返しの大気暴露と活性化を行っても高いポンプ性能が維持できることを示した。しかし、母材となるチタンが高度なゲッター性能にどのように寄与しているかというメカニズム解明には至っていない。そこで、本研究では、Ti母材がNEG性能に与える効果を明らかにするために、BL22XUのHAXPESを用いて、NEG/Tiの界面分析を実施した。その場観察HAXPESにおいて、活性化過程を観察することに成功した。

The mechanism of how the substrate titanium contributes to the advanced getter performance has not been elucidated. In this study, NEG/Ti interface analysis was performed using HAXPES at BL22XU to clarify the effect of Ti substrate on NEG performance.