超高真空環境を繰り返し作り・維持するチタンの特性を活かした電源不要のゲッターポンプ

Power source-free getter pump using advantage of the characteristics of titanium

神谷 潤一郎   

Kamiya, Junichiro

超高真空は、あらゆる産業用装置や最先端研究用装置の高度化のために必須な技術である。この超高真空を作り出すためには、大きく、パワーのある真空ポンプが必要で、装置の大型化と消費電力の増大という課題があった。そこで、大強度陽子加速器施設J-PARCでは従来から使っていたチタンが持つ気体を吸着・吸収する特性(ゲッター性能)に着目した。真空容器自体を真空ポンプとして活用する技術を開発し、電源無しでの超高真空状態の維持、真空性能の向上、省電力を実現するなど、社会実装へ向け前進している。この開発した真空技術に関して、一般社団法人日本真空工業会会報「真空ジャーナル」より取材を受けたので外部発表する。

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