超高真空技術をあらゆる産業へ応用できる省エネゲッターポンプ; 真空容器自体を無電力の超高真空ポンプにする技術の社会実装

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真空容器壁に気体吸着作用(ゲッター作用)を持たせ、省エネ、省スペースで超高真空を得る技術は、加速器、分析装置、半導体製造工程などで必要性が増している。本件は、現在開発を行っているチタン材のゲッター作用に着目し、繰り返しの利用でも性能劣化が少ないゲッター機能を持った真空材料に関するものである。本件で開発技術の着想、性能、適用事例や社会実装への展望を解説する。

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発表言語	:	Japanese
掲載資料名	:	クリーンテクノロジー
巻	:	35
号	:	1
ページ数	:	p.39 - 42
発行年月	:	2025/01
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使用施設	:	J-PARC加速器
広報プレスリリース	:
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登録番号 : AA20240575
抄録集掲載番号 : 53000218
論文投稿番号 : 29007

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