チタン合金製金属積層造形真空容器の性能

Vacuum performance of metal additive manufacturing Ti-6Al-4V UHV chamber

神谷 潤一郎   ; 諸橋 裕子 ; 武石 健一; 柳橋 享*

Kamiya, Junichiro; Morohashi, Yuko; Takeishi, Kenichi; Yanagibashi, Toru*

金属積層造形の利点は複数の異なる部品を一工程に統合した製造が可能、高価な専用の金型を使用せず一品ものが製造可能であること、機械加工では製造できない複雑な構造体を製造可能であること等である。製造面で利点が多い金属積層造形技術であるが、真空部品や真空容器に利用された例は極めて少ない。本発表は次世代加工技術と呼ばれる金属積層造形技術に関し、チタン合金材料の電子ビーム粉末床溶融結合法に焦点を当て、これまで全く実績のなかった真空装置への適用可能性について調査研究した成果である。さらに表面が粗いことから一見超高真空には不向きであると思われる積層造形に対し、非蒸発型ゲッターコーティングを適用して実効的なゲッター表面積を増やすことに活用したという、産業利用へ繋がるイノベーション技術の研究開発の結果も含まれる。今回の種々の測定結果より、金属積層造形した材料は超高真空用材料として遜色がないことが明らかとなり、表面ゲッター化により高度な真空性能を持たせられることを実証した。今後、金属積層造形が超高真空の分野で活用されていくことが期待される。

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