電子ビーム積層造形法により製作したチタン合金製真空容器は、適切なベーキングやvacuum firing処理を施すことで超高真空を達成・維持可能である。NEGコーティングは積層造形の荒い表面を大面積の気体吸着面に活用でき、従来の真空ポンプと切り離しても長時間超真空を保持できる。これにより、試料を真空中で分析装置等へ輸送できる真空トランスファーケースなどへの応用が期待される。
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発表言語 |
: | Japanese |
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掲載資料名 |
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巻 |
: | 96 |
号 |
: | 2 |
ページ数 |
: | p.115 - 122 |
発行年月 |
: | 2026/02 |
キーワード |
: | no keyword |
論文URL |
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論文解説 |
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Access |
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- Accesses |
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Altmetrics |
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