ガス量測定装置

阿部 哲也; 秦野 歳久; 平塚 一; 長谷川 浩一; 田島 保英

大間知 聡一郎*

【課題】本発明は、溶融金属中に含まれる特定の種類のガス量又は介在物に付随する特定の種類のガス量の絶対量あるいは介在物の粒子数を測定することを課題とする。 【解決手段】溶融金属を収容する真空容器1と、真空容器に接続する,大気開放バルブが介装された第1の配管5Aと、真空容器に接続する,校正ガス発生器が介装された第2の配管5Bと、真空容器に接続する,真空計、第1のバルブ、リークバルブ、第2のバルブ、ターボ分子ポンプ、第3のバルブ及び粗引きポンプが介装された第3の配管5Cと、真空容器,第1のバルブ間の第3配管とリークバルブ,第2のバルブ間の第3配管とを接続する,第4のバルブが介装された第1のバイパス配管16と、リークバルブ,第2のバルブ間の第3配管と第3のバルブ,粗引きポンプの間の第3配管とを接続する,第5のバルブが介装された第2のバイパス配管17を具備することを特徴とするガス量測定装置。