高感度ガス分析装置、ガス定量方法及び分析装置システム

阿部 哲也; 秦野 歳久; 平塚 一

大間知 聡一郎*

【課題】装置の大型化やコスト高を招くことなく、測定値の精度向上を図り、最高PPMオーダーまでの微量ガスを測定可能とする。 【解決手段】微量ガスを定量測定する高感度ガス分析装置において、被測定ガスを収容する被測定ガスリザーバ21と、被測定ガスリザーバと第1の開閉弁を介して接続する小容器23と、小容器と第2の開閉弁を介して接続する,容量が前記小容器の容量の2000倍以上のバッファタンク25と、バッファタンクと配管を介して接続するマニホールド27と、マニホールドと接続する,吸気口側に第3の開閉弁を介装したターボ分子ポンプ及びダイヤフラムポンプからなる真空排気装置の付いた四極子型質量分析計30と、被測定ガスを四極子型質量分析計に流入させるためのオリフィスと、マニホールドとターボ分子ポンプとを接続する,第4の開閉弁を介装したバイパス配管38とを具備することを特徴とする。