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磁気センサ及びこれを用いた材料評価方法、磁気センサの製造方法

永江 勇二

荒川 尚*; 欅田 理*

【課題】試料の磁気特性を精密かつ容易に高温の状態で測定し、これによって高温の試料における劣化を、試料を測定のために冷却することなく検知する。 【解決手段】磁気センサは、コの字形状のヨーク10と、ヨーク10に巻回された励磁コイル21と、励磁コイル21と異なる箇所でヨーク10に巻回された検出コイルを具備する。ヨーク10においては、ヨーク本体11に対して予め測定温度において安定な保護膜12が設けられる。保護膜12としては、ヨーク本体11をパーメンジュールで構成した場合には、パーメンジュールを、高温で酸化(熱酸化)した酸化膜を特に好ましく用いることができる。

代表出願国

 :

日本

出願番号

 :

2018-073117

公開番号

 :

2019-184338

登録番号

 :

7066132

出願日

 :

2018/04/05

公開日

 :

2019/10/24

登録日

 :

2022/05/02

PCT出願番号

 :

PCT登録番号

 :

EPC出願番号

 :

EPC登録番号

 :

IPC

 :

G01N 27/72 (2006.01):G01R 33/02 (2006.01)

関連特許

 :

【耐熱磁気センサ(特願2012-229703)】

関連文献

 :

【高温磁気センサの開発, 高屋他,「保全学」, Vol.14, No.3(2015),p81-87.】

公開特許公報

 :

P50400A.pdf

特許公報

 :

P50400B.pdf

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 :

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 :

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(成果普及情報誌)

 :

Access

From 2021.3.1

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