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元素分析方法、元素分析装置

阿部 雄太

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【課題】測定対象元素の特性X線に対応するピークと干渉元素の特性X線に対応するピークとが干渉する場合に、測定対象元素の組成を高精度で算出する。 【解決手段】解析部は、ZR(干渉元素)の発する特性X線のうち、Bに起因する測定対象ピークと干渉しないものに対応する波長(参照用波長)を設定し、上記の測定点におけるこの参照用波長での強度(補正用強度)も測定する。測定対象ピーク(BのKα1線)に対応する波長λ1周囲においては、測定対象ピークP11がある。この測定対象ピークP11に近接して、ZRのMZ線のピーク(干渉ピーク)P21が存在する。補正用強度測定工程においては、参照用波長λ2として、ZRのLα線のピーク(参照用ピークP41)に対応する波長が設定される。測定点におけるB組成のみを反映するI11(補正後強度)は、実測強度I31から補正用強度I41に補正係数Cを乗じた値を減じた式で表すことができる。