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荷電粒子ビーム操作装置、荷電粒子ビーム加速装置、及び荷電粒子ビーム操作方法

原田 寛之

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【課題】電極への衝突を回避しつつ荷電粒子ビームを適切に操作可能な荷電粒子ビーム操作装置を提供する。 【解決手段】荷電粒子ビーム操作装置は、荷電粒子ビームの進行方向に直交する第1方向において荷電粒子ビームを挟んで反対側に配置され、進行方向及び第1方向に直交する第2方向に延設された一対の第1電極12,13と、第2方向において荷電粒子ビームを挟んで反対側に配置され、各々が一対の第1電極それぞれと電気的に接続された一対の第2電極14,15とを備え、一対の第1電極と12,13、一対の第2電極14,15との間に電位差が付与されることを特徴とする。