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荷電粒子ビーム操作装置、荷電粒子ビーム加速装置、及び荷電粒子ビーム操作方法

原田 寛之

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【課題】電極への衝突を回避しつつ荷電粒子ビームを適切に操作可能な荷電粒子ビーム操作装置を提供する。 【解決手段】荷電粒子ビーム操作装置は、荷電粒子ビームの進行方向に直交する第1方向において荷電粒子ビームを挟んで反対側に配置され、進行方向及び第1方向に直交する第2方向に延設された一対の第1電極12,13と、第2方向において荷電粒子ビームを挟んで反対側に配置され、各々が一対の第1電極それぞれと電気的に接続された一対の第2電極14,15とを備え、一対の第1電極と12,13、一対の第2電極14,15との間に電位差が付与されることを特徴とする。

代表出願国

 :

日本

出願番号

 :

2019-007318

公開番号

 :

2020-119644

登録番号

 :

出願日

 :

2019/01/18

公開日

 :

2020/08/06

登録日

 :

PCT出願番号

 :

PCT登録番号

 :

EPC出願番号

 :

EPC登録番号

 :

IPC

 :

H05H 7/10 (2006.01):H05H 7/08 (2006.01):G21K 5/04 (2006.01)

関連特許

 :

(1)特許出願公開番号:特開2003-36998、発明の名称:静電セプタム電極、出願者:三菱電機株式会社

関連文献

 :

公開特許公報

 :

P51100A.pdf

特許公報

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広報プレスリリース

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