化合物膜の剥離除去方法

【課題】化合物膜を溶解させずに、微細な部位の化合物膜を安定的に除去可能な化合物膜の剥離除去方法を提供する。【解決手段】材料P1表面上の化合物膜を剥離して除去する化合物膜の剥離除去方法において、材料P1表面にナノバブル液Uを接触させた状態で、ナノバブル液Uに超音波を照射して、化合物膜を除去する。これにより、化合物膜を溶解する試薬を利用することなく、材料P1表面からの化合物膜の安定的な除去が可能である。また、ナノバブル液Uは材料P1の細かな部位にも進入することから、微細な部位の化合物膜を確実に除去することができる。