分光分析装置

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【課題】白色のスペクトルをもつ照明光を用い、十分な空間分解能と高い利便性をもつ分光分析装置を得る。【解決手段】入射光学系として回転楕円面形状の反射面をもつ楕円ミラー14が用いられる。照明光Lは、楕円ミラー14によって、例えば試料Sの表面上で可視光の回折限界近くの1μM程度の大きさに集光されて図中左側から試料Sに照射される。この照明光Lに対応した反射光は、前記の入射光学系と対応する出射光学系に入力する。出射光学系は、前記の楕円ミラー14と同一の表面形状を有し中心軸Xに対して対称な構成を具備する楕円ミラー15が設けられる。中心軸X上には、試料Sの表面を撮像する撮像部19を配置することができる。