真空部品、これを用いた真空排気方法

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【課題】ゲッター作用によって排気を行い、最大捕獲分子数が多くかつ使用寿命の長い真空部品を得る。【解決手段】真空容器10はTIで構成される。この中心軸に沿った部分において、真空容器10の内面10Aよりも十分に小さな電極面20Aを有し中心軸に沿った中空の円筒形状の電極20が設けられている。この真空部品1においては、内部にARを導入して電極面20Aを正電位としてDC放電を発生させる第1の状態、ARを導入せずに電極面20Aを接地電位とする第2の状態、内部にARを導入して電極面20Aを負電位としてDC放電を発生させる第3の状態、のいずれかを実現することができる。この真空部品1による排気は、第2の状態において行われる。また、電極を用いずに400℃以下の加熱をする状態を実現することでも真空部品1による排気が行われる。

Representative country of application	:	日本
Application number	:	2021-122848
Publication number	:	2022-027577
Patent number	:	7195504
Date of filing	:	2021/07/28
Date of publication	:	2022/02/10
Date of patent	:	2022/12/16
PCT application number	:
PCT patent number	:
EPC application number	:
EPC patent number	:
International patent classification	:	F04B 37/04 (2006.01):H01J 37/18 (2006.01):F04B 37/16 (2006.01)
Relevant patent	:	[特許文献1]間瀬: 国際公開番号WO2018/097325
Relevant other documents	:	[非特許文献1]C.Benvenuti,Vacuum53,219(1999).[非特許文献2]C.Benvenuti,Vacuum73,139(2004).[非特許文献3]T.Miyazawa,J.Vac.Sci.Technol.A37,021601(2019).[非特許文献4]C.Benvenuti,Vacuum60,57(2001).
Published unexamined patent application	:	P1/P52880A.pdfP52880A.pdf
Link for Patent Gazette	:	P2/P52880B.pdfP52880B.pdf
Licensable Patent Information Database	:	Licensable Patent Information Database
Press Release	:
Article of JAEA R&D Review	:

Access From 2021.3.1	:	- Accesses

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