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ビームプロファイルモニタ

北村 遼; 平野 耕一郎

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【課題】荷電粒子ビームとの間の相互作用によるプローブの熱負荷が大きな場合であっても、荷電粒子ビームのビームプロファイルを安定して測定する。 【解決手段】ダクト20の内部を紙面垂直方向上向き又は下向きに荷電粒子ビームのバンチBが通過する。このバンチBがビームプロファイルの測定対象となる。ここでは、導電性のプローブ10A、10Bが用いられており、ビーム照射時において各々に誘起される電流が測定可能とされる。これによって、荷電粒子ビームの横方向(X方向、Y方向)のビームプロファイルが測定される。ダクト20よりも左側には、縦方向のビームプロファイルの測定のために、コリメータ30、RFデフレクタ電極40、コリメータ50、電子検出器60、偏向電磁石70が設けられている。プローブ10A、10Bは、高配向性グラファイトで構成される。

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From 2021.3.1

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