負イオン源及び負イオン生成方法

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【課題】高い負イオン生成効率を達成可能な負イオン源及び負イオン生成方法を提供する。【解決手段】試料が導入される導入口106と、導入口106と連通し、放電によりプラズマが生成されるプラズマ生成領域113と、生成されたプラズマと試料との反応により解離または励起した粒子が負イオン化される負イオン生成領域114と、負イオン生成領域114と連通し、生成された負イオンが外部に引き出される引出口107と、を備える筐体108を有し、負イオン生成領域114には、高周波加熱により熱電子を生成する熱電子放出物質116が充填されている。