ターボ分子ポンプ、及びその製造方法

【課題】高い真空排気性能を実現することができるターボ分子ポンプを提供する。【解決手段】ターボ分子ポンプ1には、回転の軸線AXに沿って複数段のロータ翼31Aを有するロータ30と、軸線AXに沿って複数段のロータ翼31Aの間にそれぞれ配置される複数段のステータ翼14Aと、それらのロータ30、及び複数段のステータ翼14Aを内部に収容するケーシング11と、が設けられる。そして、それらの複数段のロータ翼31A、複数段のステータ翼14A、及びケーシング11を含むそのケーシング11の内部の少なくとも一部は、その素材に含まれるガスを放出させるための真空ベーキング処理が施された材料によって形成される。

Representative country of application	:	日本
Application number	:	2022-142703
Publication number	:	2024-038591
Patent number	:
Date of filing	:	2022/09/08
Date of publication	:	2024/03/21
Date of patent	:
PCT application number	:
PCT patent number	:
EPC application number	:
EPC patent number	:
International patent classification	:	F04D 19/04 (2006.01)
Relevant patent	:	[特許文献1] 浦野特開平4-370394[特許文献2] 神谷特開2022-2757[特許文献3] プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー特開 2016-205391
Relevant other documents	:	[非特許文献1] J. Kamiya, J. Vac. Sci Technol. A33, 031605 (2015).
Published unexamined patent application	:	P1/P53580A.pdfP53580A.pdf
Link for Patent Gazette	:
Licensable Patent Information Database	:
Press Release	:
JAEA R&D Navigator	:

Access From 2021.3.1	:	- Accesses

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