レーザ装置、元素分析システム、及び元素分析方法

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【課題】レーザ光を用いて対象物に含有する元素を分析する際に、対象物の表面の破壊を抑制し、高精度な元素分析を可能とする。【解決手段】対象物(M)に対してレーザ光(22)を照射するレーザ照射部(40)を備えたレーザ装置(30)において、レーザ光(22)の照射により対象物(M)から生じる音波(24)を取得する音波取得部(50)を備え、レーザ照射部(40)は、音波取得部(50)にて取得された音波に基づいて所定の焦点位置に制御される、ことを特徴とする。

Representative country of application	:	日本
Application number	:	2023-119201
Publication number	:	2025-016132
Patent number	:
Date of filing	:	2023/07/21
Date of publication	:	2025/01/31
Date of patent	:
PCT application number	:
PCT patent number	:
EPC application number	:
EPC patent number	:
International patent classification	:	G01N 21/71 (2006.01):G01N 29/04 (2006.01)
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Published unexamined patent application	:	P1/P54080A.pdfP54080A.pdf
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Licensable Patent Information Database	:	Licensable Patent Information Database
Press Release	:
JAEA R&D Navigator	:

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