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高感度ガス分析装置

廣木 成治; 秦野 歳久; 丹澤 貞光; 阿部 哲也

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【課題】大気等に含まれる微量ガスを定量するガス分析装置において,対象ガスの検出感度と測定精度を高めること。 【解決手段】大気等に含まれる微量ガスを繰返し高感度で定量することができるガス分析装置であって,被測定ガスをパルス的に流すためのガス流路と,真空排気装置付四極子型質量分析計と,前記ガス流路の中間から被測定ガスの一部を前記四極子型質量分析計のイオン源に流入させるためのオリフィスとから構成し,被測定ガスの流れのパルス形状を繰返し再現できるようにするとともに,水蒸気等の吸着性ガスが前記四極子型質量分析計の管壁や電極に吸着するのを防いで,対象ガスの検出感度と測定精度を大幅に改善した装置を提供する。