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放射線下におけるドライ真空ポンプからの摩耗粉の排出防止装置。

阿部 哲也; 新井 貴; 丹澤 貞光; 廣木 成治

緑川 洋平*; 三木 聡*

【課題】比較的簡単な構成により、ドライ真空ポンプからの排気に含まれている微粉を、有効に除去する。 【解決手段】固体潤滑性の軸受10を使用してなる放射線下におけるドライ真空ポンプの排気管に連なる導気管1、1Aの流入端付近に、交換可能なフィルタユニット2を設けるとともに、その前方適所において、導気管11A内に、排気を径方向外側へ偏向させる偏向体3を設け、かつこの偏向体3の前方において、導気管11Aの内面に、排気中に含まれる微細摩耗粉を捕捉しうる粘着層4を設ける。

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From 2021.3.1

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