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尾関 和秀*; 米村 雅雄*; 増澤 徹*; 斎藤 秀俊*; 大越 康晴*; 平栗 健二*; 武田 全康
no journal, ,
DLC膜中の水素量は、DLC膜の機械的特性や膜そのものの微視的構造に大きく影響を与えるため、特性を制御したDLC膜を作成するために重要な因子である。本研究ではH/CH比を変えながら、プラズマCVD法によりDLC膜を作成して、その水素量と膜密度の厚さ方向分布を中性子反射率法とX線反射率法を併用して求め、ERDAの結果と比較した。また、表面のO/Cの原子数比をXPSによって調べた。これらの結果を総合すると、水素存在量と膜密度は表面から深くなるにしたがって増加し、XPSの結果とも比較すると、表面の水素密度は膜の内部よりも小さいことが明らかになった。