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論文

真空ポンプ用セラミックロータの回転試験

阿部 哲也; 村上 義夫; 高澤 国夫*; 引田 和雄*

真空, 31(5), p.334 - 337, 1988/00

耐磁場・耐放射線性等を有する回転ポンプの開発を目的として、前年度に引き続きセラミックロータを有するターボ分子ポンプの試作を行ない、その回転性能ならびに真空排気性能について試験を行なった。その結果、製作仕様である回転数30,000rpmで連続回転をすることに成功し、また真空排気作用について仕様廻りであることをも確認した。現在、試験中であり、詳細は当日発表する。

論文

真空ポンプ用セラミックロータの試作

阿部 哲也; 村上 義夫; 高澤 国夫*; 森井 茂樹*

真空, 30(5), p.221 - 225, 1987/05

耐磁場・耐放射線性等を有する回転真空ポンプの開発を目的として、回転体をセラミックス(Si$$_{3}$$N$$_{4}$$)製、軸受をガスベアリング、シールを非接触ネジシール、回転駆動源をガスタービンとした試験機を試作し各種性能試験を行った。 その結果、耐磁場性に関しては回転数30,000r.p.m.の状態で、正常磁場0.046T(テスラ)(磁場発生装置の最大値)・1時間印加、同様にパルス磁場0.02T(msec)$$^{-}$$$$^{1}$$,10分間(60パルス)印加しても回転数の低下、回転体の温度上昇は認められなかった。

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