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Choi, Y.; 山本 春也; 梅林 励; 吉川 正人
Solid State Ionics, 172(1-4), p.105 - 108, 2004/08
被引用回数:41 パーセンタイル:82.22(Chemistry, Physical)光触媒能を有する二酸化チタン(TiO)結晶は、環境問題を解決する材料として注目されている。アナターゼ構造のTiO結晶はルチル構造のそれに比べて、触媒活性が高いことが知られており、アナターゼ構造のTiO薄膜を作製する技術を開発することが、今後、極めて重要になると考えられる。本研究では、酸素雰囲気で基板温度を調節することによって、炭化チタンをタゲットとするパルスレーザー蒸着法によりアナターゼ構造のTiO薄膜の作製に成功した。薄膜試料の表面状態を原子間力顕微鏡で、その化学結合状態をX線光電子分光法で調べ、それらをTiO粉末試料の結果と比較しながら議論した。